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株式会社 コアシステム

TEL:0258- 31-6233

FAX:0258-37-3744


URL:http://csys.jp/

企業の特徴

コアシステムの特許技術「レーザ表面形状検査機」は、半導体ウエハ( S i , S i C , G a N , 等)、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、
スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高精度で、速く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と
「3D 画像データ」を表示します。

得意とする技術・分野

特許第3810749号「形状測定装置」の応用商品「レーザ走査表面形状検査機:CSYS シリーズ」で、半導体・M E M S・ハードディスク・
F P D用機能性フイルム・スパッタ薄膜などの業界に、これまでとは違う新しい「高性能表面検査機」を提案し実績を上げている。
更に、透明体の表面形状検査を確実にする、新たな検出光学系の特許出願(2014.07.08.)済。

会社概要

代表者名 代表取締役 小埜寺 正臣
本社所在地 〒940-1162 長岡市西宮内2‐144
資本金
設立年月日 平成9(1997)年6月27日
従業員数 5名
担当窓口 代表取締役/小埜寺 正臣
TEL:0258-31‐6233、FAX:0258‐37‐3744
E-mail:sales-1@csys.jp

主要製品・加工品の紹介

「レーザ走査表面形状検査機“CSYS 12 シリーズ”」は、大きさ:4機種と、レーザ光源(光波長):2系統があります。

【特徴】
●測定検出感度:XY(平面):50nm(0.05μm)
       Z(高さ):0.1nm(0.0001μm)=1Å
●測定ワークサイズ対応4機種:Φ 1 0 ~ 1 0 0 , Φ 1 0 ~ 2 0 0 , Φ 1 0 ~300, Φ10~450(mm)
● レーザ光源( 光波長):半導体レーザは、青紫色:4 0 5 nm , 赤色:655nm, の2系統より選択可能
●高速走査(スキャニング):0.52msec / 40mm(1ライン), x 30ライン/秒, と速い
●振動などの設置環境に強い:除振台や防振基礎などが不要
●半導体各種ウエハ、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの表面の
 (微細な表面形状・表面粗さ・うねり・パーティクル・キズ欠陥)を速く、全面を測定してデジタルデータと
 3D画像データを表示し、「良/否」判定選別をします
●半導体・MEMS・ハードディスク・FPD用機能性フイルム・スパッタ薄膜業界などの研究開発部門並びに
 量産製造工程で採用されています。

主要取引先

キャノン、富士電機、富士フイルム、信越半導体、昭和電工、東洋鋼鈑、住友金属ファインテック、
東芝、栄興業、田中貴金属工業、K o m a g I n c . ( 現在W e s t e r n D i g i t a l , C A , U S A ) ,
S e a g a t e T e c h , ( C A , U S A ) ,Peripheral Tech, (CA, USA), その他
コアシステムレーザ表面形状検査機 CSYS
コアシステムのDISK表面微小欠陥検出画像を産総研SEMで検証